直接铜接合膛式炉（DCB）

 

特征及优势

• 工艺温度高达1160°C
• 优良的交叠区温度均匀性
• 平稳区最优化气流设计
• 通过单独控制加热区可方便进行温度分布的调整

主要参数：

• ±1.5K(℃)（1085℃工艺温度时）
• 工艺传送带速度：+/- 1%
• MFC气体流量控制: +/- 1%
• 氧浓度控制：+/- 5ppm
• 工艺传送带宽 400 mm
• 工艺传送带速度 50-300 mm/min
• 工艺传送带长17.000 mm

Muffle腔的尺寸：

• 工艺传送带宽：400mm
• Muffle腔高：70mm