考虑全面的高效设计,使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速,是理想的洁净、无油高真空排气方案。  
           
          
          标准应用:半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域 
          
            
              
                配置灵活 
                支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口 
                用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵,从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室,是非常理想的选择。 
                标准设计 
                Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。 
               
                
               
             
            
           | 
     
    
         
        
          
            
              | 参数  | 
               | 
             
            
               | 
             
            
              | Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second  | 
                | 
             
            
              |  Air  | 
               3,000  | 
             
            
              |  Water  | 
               9,000  | 
             
            
              |  Hydrogen  | 
               5,000  | 
             
            
              |  Argon  | 
               2,500  | 
             
            
              | Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr  | 
                | 
             
            
              |  Hydrogen  | 
               24  | 
             
            
              |  Argon  | 
              2,000 | 
             
            
              | Throughput  | 
                | 
             
            
              |  Argon sccm  | 
              1,500  | 
             
            
              | Crossover  | 
                | 
             
            
              |  Torr-liters  | 
              300 | 
             
            
              | Cool down time  | 
                | 
             
            
              |  60 Hertz  | 
               60 Min  | 
             
            
              | Cryopump measurements  | 
                | 
             
            
              |  Height  | 
               23.9"  | 
             
            
              |  Weight LBS  | 
               85  | 
             
            
              | Inlet flange  | 
               ANSI/ISO/CF  | 
             
          
         
          
          
           | 
     
  
 
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