在部分半导体生产设备里，低温泵的安装收到空间限制，此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择。
典型应用：溅射、离子注入、表面分析、粒子加速器、研发型的钟罩式系统，以及其他的真空系统
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
灵活配置
ANSI、ISO、CF等多种法兰接口
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| 参数 |
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| Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second |
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| Air |
1,500 |
| Water |
4,000 |
| Hydrogen |
2,200 |
| Argon |
1,200 |
| Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr |
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| Hydrogen |
12 |
| Argon |
1,000 |
| Throughput |
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| Argon sccm |
700 |
| Crossover |
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| Torr-liters |
150 |
| Cool down time |
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| 60 Hertz |
90 Min |
| Cryopump measurements |
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| Height |
7.03" |
| Length |
22.6" |
| Inlet flange |
ANSI/ISO/CF |
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* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利， 恕不事先通知。
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