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E2000-大批量生产的卧式炉

真空焊接炉vlo20

E2000

大批量生产的卧式炉

 

centrotherm 2000专为大批量生产而设计,支持多种工艺能力,适用于大批量生产和高工艺性能的用户,并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性,并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管

 

适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计,便于在洁净室安装调试

 

 

 

 

 

 

* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利, 恕不事先通知。

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