Centrotherm产品——真空焊接炉 更多…

真空焊接炉 VLO6/VLO12

Centrotherm VLO 6 真空焊接炉是为先进封装和功率半导体领域应用而设计的，适用于小批量生产和的实验室研发的要求。
可以完成快速加热和冷却。

真空焊接炉 VLO20

centrotherm VLO 20 真空焊接炉满足高要求研发部门的同时，也满足通过真空焊接技术实现无空洞焊接的小批量生产单位

真空焊接炉 VLO180/VLO300

centrotherm VLO180或VLO300真空焊接系统理想应用于大批量各种材料生产，温度最高可达到750°C。整合的加热和冷却可以单独控制。 。

Centrotherm产品——卧式炉 更多…

E1200

Centrotherm E1200小批量实验室系统支持多种工艺能力，需要小批量生产和高性能用户在较小占地面积

E1550

Centrotherm E1550 最优化系统支持多种工艺能力，需要中等生产能力和在一定尺寸安全上的高工艺性能的用户，是可靠易于维修的卧式炉管平台。

E2000

Centrotherm E2000大批量系统支持多种工艺能力，需要最高生产能力，高工艺性能的用户并且提供原尺寸批量生产所有特征，是易于维修，安全可靠的卧式炉管平台。

Centrotherm——高温炉 更多…

Activator 150 高温炉

Centrotherm Activator150 高温炉设计用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm独特工艺炉管和加热系统设计允许工艺温度达到1850℃.

Verticoo 200 高温炉

Centrotherm Verticoo 200批量生产立式炉由单根炉管，双舟上料机构以及高效全自动圆片传递机械手组成。

Oxidator 150 高温炉

Oxidator 150 经过专业的研发，能够满足SIC圆片的高温氧化工艺；同时亦可用于常规的硅圆片的氧化。Oxidator 150提供带有氢氧合成系统的湿氧工艺。

半导体机械手系列 更多…

PRI ATM 105 405 107……

翻新流程：1.入库外观检查和评估 2.更换和翻新 3.检查如有需要则更换 4.老化测试 5.将翻新好的机械手和文件寄送给客户 6.保修期3～6个月

RORZE RR701 RR700 RR713

翻新流程：1.入库外观检查和评估 2.更换和翻新 3.检查如有需要则更换 4.老化测试 5.将翻新好的机械手和文件寄送给客户 6.保修期3～6个月

Genmark GB4 GB8……

翻新流程：1.入库外观检查和评估 2.更换和翻新 3.检查如有需要则更换 4.老化测试 5.将翻新好的机械手和文件寄送给客户 6.保修期3～6个月

BROOKS Z-BOT Z-BOT II

翻新流程：1.入库外观检查和评估 2.更换和翻新 3.检查如有需要则更换 4.老化测试 5.将翻新好的机械手和文件寄送给客户 6.保修期3～6个月

冷泵及压缩机 更多…

Austin Cryo-Plex 10 低温泵/冷泵

考虑全面的高效设计，使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速，是理想的洁净、无油高真空排气方案

标准应用：半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域

M125 压缩机

驱动单台8寸低温泵

WJ配件 更多…

WJ--Injector Housing Overhaul

设备制造商：AVIZA(WJ) 设备型号：WJ1000

尺寸：150mm 200mm

WJ Cable(Load/ Unload/ Return/ Manipulator)

设备制造商：AVIZA(WJ) 设备型号：WJ-999, 1000, 1500

尺寸：150mm,200mm