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冷泵及压缩机

Austin Cryo-Plex 10 低温泵/冷泵
考虑全面的高效设计,使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速,是理想的洁净、无油高真空排气方案
标准应用:半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域
Austin Cryo-Plex 8 低温泵/冷泵
在生产或者研发领域里的洁净、无油的高真空系统,Cyro-Plex8低温泵是标准配置,且价格优惠。
Austin Cryo-Plex 8LP 低温泵/冷泵
在部分半导体生产设备里,低温泵的安装收到空间限制,此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择
Austin Cryo-Plex 16 低温泵/冷泵
对需要洁净、无油的高真空排气方案的大型箱式镀膜、空间模拟、电子束沉积等诸多应用来说,
Cryo-Plex 16 低温泵是一个典型配置。

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M125 氦气压缩机
驱动单台8寸低温泵
M400 氦气压缩机
可同时驱动两台8寸低温泵或单台10寸低温泵
M600 氦气压缩机
可同时驱动3台8寸低温泵,或2台10寸低温泵,或1台16寸低温泵

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