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冷泵及压缩机
- Austin Cryo-Plex 10 低温泵/冷泵

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考虑全面的高效设计,使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速,是理想的洁净、无油高真空排气方案 标准应用:半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域
- Austin Cryo-Plex 8 低温泵/冷泵

- 在生产或者研发领域里的洁净、无油的高真空系统,Cyro-Plex8低温泵是标准配置,且价格优惠。
- Austin Cryo-Plex 8LP 低温泵/冷泵

- 在部分半导体生产设备里,低温泵的安装收到空间限制,此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择
- Austin Cryo-Plex 16 低温泵/冷泵

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对需要洁净、无油的高真空排气方案的大型箱式镀膜、空间模拟、电子束沉积等诸多应用来说, Cryo-Plex 16 低温泵是一个典型配置。
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- M125 氦气压缩机

- 驱动单台8寸低温泵
- M400 氦气压缩机

- 可同时驱动两台8寸低温泵或单台10寸低温泵
- M600 氦气压缩机

- 可同时驱动3台8寸低温泵,或2台10寸低温泵,或1台16寸低温泵

